고효율 액화부터 반도체용 초고순도 정제, 벤트가스 회수까지.
탄소를 낭비 없이 다루는 씨에너지의 CO2 솔루션입니다.
CO2 (탄소 포집·정제·액화 솔루션)
Core Business
고효율 액체탄산 생산 공정 (Liquid CO2 Production Process)
- 일반적인 액체탄산 공장의 한계를 뛰어넘어, 고압 환경에서 경제성을 극대화한 최적화된 액화 시스템을 제공합니다.
- 일 생산량 40톤 규모의 중소형 설비부터 570톤에 이르는 초대형 플랜트까지 폭넓은 용량의 설계 및 구축 실적을 보유하고 있습니다
반도체용 초고순도 CO2 정제 공정 (Ultra-High Purity CO2 Purification)
- 최근 반도체 산업에서는 웨이퍼 세정 및 포토레지스트 현상 공정에 쓰이는 필수 솔벤트로서 불순물이 극도로 통제된 초고순도 액체탄산의 수요가 급증하고 있습니다.
- 반도체 공정의 엄격한 기준에 부합하는 ‘초고순도 액체탄산(6-Nine)’을 생산할 수 있는 다양한 고도화 정제 기술을 독자 개발했습니다. 이 기술은 실제 액체탄산 생산 공장에 성공적으로 적용되어, 현재 최고 품질의 반도체용 액체탄산 공급에 중추적인 역할을 하고 있습니다.
드라이아이스 벤트가스 회수 시스템 (Dry Ice Vent Gas Recovery)
- 드라이아이스 제조 과정에서 단속적(간헐적)으로 배출되는 벤트가스를 버리지 않고 효율적으로 회수하는 자원 순환 솔루션입니다.
- 배출되는 가스를 압력 구간별로 정밀하게 회수하고 다시 액체탄산으로 액화하는 최적의 시스템을 구축하여, 공장의 전력비를 획기적으로 절감하고 탄소 배출을 최소화합니다.
